请问BOE溶液中的百分数是质量百分数吗?
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发布时间：2022-04-23 21:18
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热心网友
时间：2023-10-31 23:53
是的，通过飞秒检测发现BOE（Buffered Oxide Etch）即是缓冲氧化物刻蚀液。由氢氟酸（49%）与水或氟化铵与水混合而成。BOE是HF与NH4F依不同比例混合而成。6:1
BOE蚀刻即表示49%HF水溶液：40%NH4F水溶液=1：6（体积比）的成分混合而成。刻蚀速度约10nm每秒。HF为主要的蚀刻液，NH4F则作为缓冲剂使用。利用NH4F固定〔H+〕的浓度，使之保持一定的蚀刻率。HF会浸蚀玻璃及任何含硅石的物质，对皮肤有强烈的腐蚀性，不小心被溅到，应用大量水冲洗。来自：求助得到的回答
