专利名称：一种超精密位移激光感测方法专利类型：发明专利发明人：陈珂,蒋伟
申请号：CN201810211857.6申请日：20180314公开号：CN108844466A公开日：20181120
摘要：本发明公开了一种超精密位移激光感测方法。所述超精密位移激光感测方法基于超精密激光位移传感器对物体位移进行超精密测量；所述超精密激光位移传感器包括激光发射装置，圆弧形镜面反射装置，激光接收装置，控制器；所述控制器依据激光接收装置上受光位置变化量与被检测物表面位置量间的几何映射关系，计算得到被检测物的位移值。本发明通过在被检测物反射激光到激光接收装置的光路中加入圆弧形镜面反射装置，利用方向相同而入射位置不同的激光束在圆弧形镜面上入射角的变化，使最终投射到激光接收装置上的激光光斑位置发生较大的改变，实现被检测物位移量在激光接收装置上的高倍率放大；在激光接收装置分辨率一定的情况下，可实现对被检测物位移超高精度测量。
申请人：四川大学
地址：610065 四川省成都市武侯区一环路南一段24号
国籍：CN
更多信息请下载全文后查看
因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容