专利名称：一种同时检测温度、湿度的LC无源无线传感器专利类型：发明专利
发明人：李卫,陈婉翟,崔欣悦,任青颖,李金申请号：CN201910344137.1申请日：20190426公开号：CN110108381A公开日：20190809
摘要：本发明公开了一种同时检测温度、湿度的LC无源无线传感器，包括衬底，衬底上方设置有叉指正电极、叉指负电极、电感线圈，衬底与叉指正电极、叉指负电极、电感线圈之间存在一个空腔；叉指负电极表面覆有一层敏感介质，叉指正电极和叉指负电极形成叉指结构，叉指正电极和叉指负电极之间有空气层，构成检测电容；电感线圈位于叉指正电极和叉指负电极的外围，电感线圈的尾部通过引线与叉指负电极连接，电感线圈与检测电容构成LC传感器谐振回路单元；所述空腔的四周设置有自下而上的氧化层、底层钝化层、顶层钝化层，氧化层位于衬底上。本发明可以实现对温度和湿度的同时检测，具有灵敏度高，响应快，结构简单、体积小、成本低、寿命长的优点。
申请人：南京邮电大学
地址：210003 江苏省南京市鼓楼区新模范马路66号
国籍：CN
代理机构：南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙)
代理人：陈国强
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