专利名称：一种多功能真空多弧磁控热蒸发离子镀装置专利类型：实用新型专利发明人：刘毅
申请号：CN201620802031.3申请日：20160726公开号：CN205934009U公开日：20170208
摘要：本实用新型涉及真空离子镀设备技术领域，尤其是一种多功能真空多弧磁控热蒸发离子镀装置。它包括主体、弧源和平面磁控靶，主体内部设置有真空腔，弧源安装于主体侧壁上并穿过主体侧壁置于真空腔内，主体内壁设置有两个相对称的安装槽，平面磁控靶安装于安装槽内，真空腔内部设置有旋转装置，旋转装置周边或中心处垂直安装有圆柱磁控靶和热蒸发源，主体侧壁设置有真空排气窗，真空排气窗的正对面设置有密封门，密封门上开设有观察窗。本实用新型利用圆柱磁控靶镀一层二氧化硅，在金属表面形成一层透明二氧化硅膜层，利用热蒸发源将氧化物、氟化物蒸发到透明二氧化硅膜层上，以起到防指纹、防污、漓水、防腐的作用，其结构简单，操作方便，具有很强的实用性。
申请人：深圳市傲创源科技有限公司
地址：518000 广东省深圳市宝安区沙井街道第一工业区D1栋2楼
国籍：CN
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