专利名称：薄膜晶体管、集成电路和液晶显示装置专利类型：发明专利
发明人：山口弘高,松村正清,谷口幸夫申请号：CN200810175142.6申请日：20060403公开号：CN101452960A公开日：20090610
摘要：本发明公开了薄膜晶体管、集成电路和液晶显示装置。本发明的课题在于形成完全贯通抗蚀剂的接触孔。本发明提供一种薄膜晶体管，包含：在玻璃基板上的结晶化的半导体薄膜上设置的源区和漏区；在上述半导体薄膜上在上述源区和漏区间设置的栅绝缘膜；在该栅绝缘膜上设置的栅电极；在上述栅电极、上述源区和漏区上设置的第2绝缘膜；以及在该第2绝缘膜中设置的、设置有用于与上述栅电极、上述源区和漏区的至少一个取得电接触的导电体层的接触孔，其特征在于：上述接触孔的剖面形状是长方形状，该接触孔的剖面形状的长边方向的长度尺寸大于等于其短边方向的长度尺寸的1.4倍。
申请人：株式会社液晶先端技术开发中心
地址：日本神奈川县
国籍：JP
代理机构：中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人：王永刚
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