专利名称：低温泵专利类型：发明专利发明人：林振旺,庄尚裕申请号：CN201811597041.8申请日：20181226公开号：CN111365213A公开日：20200703
摘要：本发明提供一种低温泵，所述低温泵包括：压缩机，所述压缩机提供冷源；至少两个冷凝井，所述冷凝井分别与所述压缩机相连接，并与所述压缩机之间形成闭合循环回路；所述冷凝井分别与机台相连接，使得所述机台中的气体在所述冷凝井中降温，以通过所述冷凝井对所述机台进行抽气。本发明可实现冷凝井的交替再生，提高机台的稼动率，且根据机台的具体情况，可设置不同的冷凝井，在提高机台的稼动率的同时，还可降低成本。
申请人：芯恩(青岛)集成电路有限公司
地址：266000 山东省青岛市黄岛区太白山路19号德国企业南区401
国籍：CN
代理机构：上海光华专利事务所(普通合伙)
代理人：余明伟
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