专利名称：一种14英寸砷化镓单晶炉专利类型：实用新型专利发明人：易德福,守建川申请号：CN201720170547.5申请日：20170224公开号：CN207452293U公开日：20180605
摘要：本实用新型公开了一种14英寸砷化镓单晶炉，包括14英寸炉膛、2英寸PBN组件、保温棉、炉芯、石英管、环形加热片、封盖；所述14英寸炉膛呈圆筒状，所述14英寸炉膛内沿其高度方向分为3‑10段温场，所述3‑10段温场的区域内设有多个温控点，所述石英管设置在14英寸炉膛内的底部，所述炉芯设置在石英管内。本实用新型设备精度高，其中分布在3‑10段温场的温控点有3‑10个，稳定控制温场，建立合适的温场梯度，进而有效掌握多个2英寸单晶棒同时生长的合适的温控规律，可一次性批量式生长得到1‑13根单晶，可以提高砷化镓晶棒的生产效率，且成形率较高，可达80％‑100％。
申请人：江西德义半导体科技有限公司
地址：344000 江西省抚州市金柅大道198号创业园A7栋3楼
国籍：CN
代理机构：苏州国诚专利代理有限公司
代理人：韩凤
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