超纯水电子行业级介绍

超纯水是美国科技界为了研制超纯材料（半导体原件材料、纳米精细陶瓷材料等）应用蒸馏、去离子化、反渗透技术或其它适当的超临界精细技术生产出来的水，这种水中除了水分子（H20）外，几乎没有什么杂质，更没有细菌、病毒、含氯二恶英等有机物，当然也没有人体所需的矿物质微量元素，一般不可直接饮用，对身体有害，会析出人体中很多离子。

附1中国国家电子级超纯水规格 GB/T11446.1-1997

>1μm电阻率 25℃ MΩ*cm 硅 ≤μg/L 铜 ≤μg/L 锌 镍 钠 钾 氯 颗g/L g/L g/L g/L g/L ≤个/ml EW-I ≥18* EW-II ≥1 ** 2 10 0.2 0 0.2 0.1 0.5 0.5 1 0 1 2 2 1 0.1 0.01 1 5 0.1 1 1 1 1 1 20 100 细菌 /ml ≤μ≤μ≤μ≤μ≤μ粒 ≤个硝酸根 磷酸根 硫酸根 ≤g/L ≤μg/L ≤μg/L TOC≤μg/L 注*（95％时间不低于17），**（95％ 时间不低于13） 指标\\级别 电阻率 MΩ，cm(25℃) 全硅，最大值,μg/L EW－Ⅰ EW－Ⅱ EW－Ⅲ EW-Ⅳ 18以上，（95％时间）不15，（95％时间）不低低于17 2 于13 10 5 0.1 1 1 1 12.0 0.5 50 10 10 2 5 2 1000 500 100 500 500 500 ＞1μm微粒数，最大值，个/mL 0.1 细菌个数，最大，个/mL 铜，最大值，μg/L 锌，最大值，μg/L 镍，最大值，μg/L 0.01 0.2 0.2 0.1 钠，最大值，μg/L 钾，最大值，μg/L 氯，最大值，μg/L 硝酸根，最大值，μg/L 磷酸根，最大值，μg/L 硫酸根，最大值，μg/L 总有机，最大值，μg/L 项目 级别 0.5 0.5 1 1 1 1 20 2 2 1 1 1 1 100 5 5 10 5 5 5 200 1000 500 1000 500 500 500 1000 比电阻 MΩ.cm@25℃ 硅 ≤ < 个>1μm细菌微粒数 个数μg/L /ml 18（95%的EW-Ⅰ 时间不低于17） 15（95%的EW-Ⅱ 时间不低于13） 超纯水用途

10 5 2 0.1 硝酸磷酸总有机钾 < 个铜锌镍钠≤ 氧≤ 根≤ 根≤ 硫酸根 碳/ml ≤μg/L ≤μg/L ≤μg/L ≤μg/L g/L μg/L μg/L μg/L ≤μg/L ≤μg/L 0.001 0.2 0.2 0.1 0.5 0.5 1 1 1 1 20 0.1 1 1 1 2 2 1 1 1 1 100 超纯水广泛适用于化学、生物、制药、医学、微电子、半导体等领域，满足光谱分析、色谱分析、细胞培养、蛋白纯化、分子生物学等领域。主要用在集成电路工业中用于半导体原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制备和硅片氧化用的水汽源等。此外，其他固态电子器件、厚膜和薄膜电路、印刷电路、真空管等的制作也都要使用超纯水。