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多晶硅还原炉

2022-04-17 来源:华拓网
(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)实用新型专利

(21)申请号 CN201220514813.9 (22)申请日 2012.10.09

(71)申请人 内蒙古锋威硅业有限公司

地址 750336 内蒙古自治区阿拉善盟阿拉善经济开发区丰产路9号

(10)申请公布号 CN202849076U

(43)申请公布日 2013.04.03

(72)发明人 赵纯源 (74)专利代理机构

代理人

(51)Int.CI

权利要求说明书 说明书 幅图

(54)发明名称

多晶硅还原炉

(57)摘要

本实用新型公开了一种多晶硅还原

炉,包括炉体(1)和底盘(2)。炉体(1)与底盘(2)之间采用法兰连接。底盘(2)上均匀安装有30对,即60个电极(3)。炉体(1)为带有夹套的双层结构,炉体(1)的内壁是银合金涂层。炉体(1)上对称分布有4个观察窗(4)。本实用新型的还原电耗小,单炉产量高,操作安全可靠,而且能使工作人员从外部清晰、准确地了解炉内的状况。 法律状态

法律状态公告日

2013-04-03 2014-12-10

授权

法律状态信息

授权

专利权的终止

法律状态

专利权的终止

权利要求说明书

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说明书

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