专利名称：流量控制设备专利类型：发明专利发明人：黑泽贤一
申请号：CN200710084439.7申请日：20070302公开号：CN101029652A公开日：20070905
摘要：一种流量控制设备，包括基座部分(18)，其中基座部分(18)由多个堆叠的金属板构成。流量控制设备还包括压力控制部分(20)、压力传感器(78)和流动通道转换部分(22)，所述压力控制部分(20)调节流动穿过基座部分(18)中的第一通道(30)的压力流体(气体)的压力，所述压力传感器(78)检测流动穿过第二通道(34)的压力流体的压力，所述流动通道转换部分(22)包括第一到第三孔口(48a到48c)，用于节流由压力控制部分(20)压力调节的流体，从而具有预定的流量，并且流动通道转换部分(22)具有第一到第三开关阀，用于转换第四到第六通道(38，40，42)，以分别朝着压力流体输出孔(14)引导压力流体。
申请人：SMC株式会社
地址：日本东京都
国籍：JP
代理机构：中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人：范莉
更多信息请下载全文后查看
因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容