专利名称：部件清洗装置专利类型：发明专利发明人：方鑫
申请号：CN202010832196.6申请日：20200818公开号：CN112044903A公开日：20201208
摘要：本发明提供了一种部件清洗装置，包含承载组件以及清洗槽；所述承载组件包含承载腔及把手，所述把手设于承载腔上，所述承载腔上设有一供部件进出的开口，所述承载腔的腔壁上设置有若干进出液口；所述清洗槽包含槽体、排液管和排液阀门，所述槽体用于盛放酸溶液，所述槽体与所述排液管连通，所述排液阀门设置于所述排液管上。本发明解决作业人员容易被强酸伤害和清洗过程中部件容易掉落的问题。
申请人：上海华力微电子有限公司
地址：201315 上海市浦东新区良腾路6号
国籍：CN
代理机构：上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：曹廷廷
更多信息请下载全文后查看
因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容